برای بازرسی و بهبود خواص مکانیکی سازه­ های بهم ­پیوسته BEoL (انتهای پشتی خط) در فناوری ریزپردازنده، ضروری استه که خواص چسبندگی و انتشار ترک در آن­ها مورد تحلیل قرار گیرد. در پژوهش حاضر، روش تیر خمشی 4نقطه­ ای با کمک دوربین برای دستیابی به اندازه­ گیری ­های سریع و قابل اعتماد چسبندگی و از جمله اطلاعات مربوط به طول ترکی که به­ صورت موضعی ایجاد شده، مورد استفاده قرار گرفته است. برای تفسیر داده ­های انتشار ترک که به دست آمدند، دیدگاه مدل­سازی المان محدود مورد استفاده قرار گرفت. ترکیب اندازه­ گیری موضعی نرخ آزادسازی انرژی ترک و این مدل­سازی، امکان ارزیابی منحنی­ های اندازه­ گیری،­ برای مودهای انتشار ترک متقارن و غیرمتقارن و نیز تشریح خواص انتشار ترک در چینه­ های مربوط را - که دستیابی به آن­ها با این جزئیات، در روش خمش 4 نقطه­ ای متداول، امکان­پذیر نیست- فراهم نموده است.