| #1219 کد مقاله | زمینه: فیزیک | ||
عنوان انگلیسی: |
Design and fabrication of a high fill-factor micro-bolometer using double sacrificial layers |
تعداد صفحات انگلیسی: |
10 صفحه |
عنوان فارسی: |
طراحی و ساخت یک میکرو-بلومتر با ضریب پُری بالا با استفاده از دو لایه فداشونده |
تعداد صفحات فارسی: |
18 صفحه |
نوع فایل: |
فایل word ترجمه و pdf انگلیسی |
قیمت فروش: |
80,000 ريال |
چکیده فارسی: |
چکیده در مقاله حاضر، ما یک آرایه میکرو-بلومتر فروسرخ خنک نشده با ضریب پُری بالا؛ و به طور خاص، یک بلومتر فروسرخ سه-سطحی شامل یک جاذب با ضریب پُری تقریباً 92% و یک ساختار با طراحی جداگانه برای عایق الکتریکی-حرارتیِ سنسور گرمایی؛ و یک روش برای ساخت مبتنی بر سیلیکون را گزارش می کنیم. آرایه بلومتر 256×256 حاضر حاوی یک مدار بازخوانی CMOS، یک سطح پل، یک جفت پُست، و یک سطح جذب است. ساختِ ویژگی های بلومتر حاضر که از دو لایه فداشونده استفاده می کند به طوری است که سطح جاذب از ساختار پل، مسیر الکتریکی و گرمایی بین جاذب و بستر (سوبسترا) جدا کند. همچنین، ما یک فیلم نازک تیتانیوم را بعنوان یک ماده بلومتر انتخاب کردیم که برای ارتباط برقرار کردن بین تماس سوبستر و پست طراحی شده است. سطح جاذب از فیلم فلزی تیتانیوم که بین لایه های PECVD نشانده در دی اکسید سیلیکون ساندویچ شده، تشکیل شده است تا عایق حرارتی یک جاذب بلومتر را حفظ کند و تنش های اینرسیایی را آزاد کند. تماس اضافی برای وصل کردن فیلم نازک فلزی به الگوی مارپیچ مقاومتی روی جذب کننده غشاء تعیین شده بر بالای لایه فداشونده دوم، تشکیل می شود. از طراحی ساختار، می توانیم یک عایق حرارتی خوب بدون کاهش ناحیه جذب کننده IR بدست آوریم. |
||
نسخه انگلیسی: |
|||
قیمت فروش: |
80,000 ريال |
||
|
پرداخت اینترنتی و دریافت
|
|||
تمامی کالاها و خدمات این فروشگاه حسب مورد دارای مجوزهای لازم از مراجع مربوطه می باشند و فعالیت های این سایت تابع قوانین و مقررات جمهوری اسلامی ایران است.
خوراک اخبار فراترجمه
ثبت سفارش آنلاین ترجمه